? ?近日,我院何剛教授課題組在微電子器件研究領(lǐng)域取得重要進(jìn)展,其研究成果分別以“Solution-Processed DyOx for Aging Diffusion ZnSnO Transistors and Application in Low-Voltage-Operating Logic Circuits”和“Eco-Friendly Fully Water-Driven Metal-Oxide Thin Films and Their Applications in Transistors and Logic Circuits”在國際微電子領(lǐng)域權(quán)威期刊IEEE Transactions on Electron Devices發(fā)表。2017級博士生楊兵同學(xué)和2017級碩士生張沖同學(xué)分別為兩篇論文的第一作者,何剛教授為論文通訊作者。論文鏈接:
https://ieeexplore.ieee.org/document/8755323
https://ieeexplore.ieee.org/document/8784192
? ?IEEE(電氣和電子工程師協(xié)會)是目前全球最大的非營利性專業(yè)技術(shù)學(xué)會,致力于電氣、電子、計(jì)算機(jī)工程和與科學(xué)有關(guān)領(lǐng)域的研究與開發(fā),現(xiàn)已發(fā)展成為具有極大影響力的國際學(xué)術(shù)組織。IEEE Transactions on Electron Devices是IEEE出版社旗下的微電子領(lǐng)域的權(quán)威期刊,在國際微電子領(lǐng)域享譽(yù)盛名。
? ?21世紀(jì)在顯示領(lǐng)域是平板顯示的時(shí)代,而絕大多數(shù)平板顯示器件都是有源矩陣液晶顯示器件(AMLCD)。在AMLCD像素中引入薄膜晶體管(TFT)開關(guān)元件和存貯電容,可大大提高顯示器件性能,這使得TFT成為液晶乃至整個(gè)平板顯示的主導(dǎo)技術(shù)。具有高介電常數(shù)的薄膜電子材料一直是該研究領(lǐng)域的重心,同時(shí)也是低功耗顯示器、CMOS集成電路必不可少的組成部分。何剛教授課題組利用全溶液工藝制備了基于稀土元素?fù)诫s的柵介質(zhì),低溫構(gòu)筑了高性能的薄膜晶體管和邏輯反相器,對于低功耗、便攜、低能耗柔性器件的研發(fā)具有重要的意義。最近幾年,該課題組采用低成本溶膠凝膠旋涂技術(shù)在高k介電TFT器件領(lǐng)域取得一系列重要進(jìn)展(Adv. Electro. Mater., 2018, 4, 1800100;ACS Appl. Electro. Mater., 2019, 1, 6255; IEEE Trans. Electro. Dev., 2018, 65, 2870)。這次發(fā)表在IEEE Transactions on Electron Devices上的研究工作標(biāo)志著我院在低功耗、高性能、低成本微電子器件領(lǐng)域開創(chuàng)并引領(lǐng)著新的科研方向。
? ?該研究工作得到了國家自然科學(xué)基金(11774001, 51572002)及物科院開放基金(S01003101)等項(xiàng)目的資助。
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