何剛教授課題組在器件界面鈍化和薄膜晶體管領域取得重要進展
近日，我院何剛教授課題組（何剛教授課題組網站：www.ahu-hegang-group.com）在（1）低溫構筑高性能薄膜晶體管及邏輯反相器；（2）MOS疊層柵的界面態(tài)控制及器件性能優(yōu)化方面取得重要進展。相關研究結果以“Low-Voltage-Operating Transistors and Logic Circuits Based on Water-Driven ZrGdOx Dielectric with Low Cost ZnSnO”和“Comparative passivation effect of ALD-driven HfO2?and Al2O3?buffer layers on the interface chemistry and electrical characteristics of Dy-based gate dielectrics”在電子器件專業(yè)期刊《ACS Applied?Electronic Materials》和材料知名期刊《Journal of Materials Chemistry C》在線發(fā)表。
論文鏈接：https://pubs.acs.org.ccindex.cn/doi/10.1021/acsaelm.9b00110?
??????????? ?https://pubs.rsc.org/en/content/articlelanding/2019/tc/c8tc05736b
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??????????課題組碩士生王蝶利用原子層前驅體的自清潔效應和快速熱退火的有機結合，有效調控了溝道層界面態(tài)密度，利用稀土元素摻雜抑制了鉿基柵介質的本征缺陷和器件的漏流，器件性能良好。博士生楊兵利用全水溶液工藝制備了基于稀土元素摻雜的柵介質，低溫構筑了高性能的薄膜晶體管和邏輯反相器。超薄高k柵介質和薄膜晶體管是柔性顯示器件領域的研究重點，同時也是低功耗顯示器、CMOS集成電路必不可少的組成部分。該課題組利用價格低廉的全水溶液工藝低溫制備了性能優(yōu)異的高k柵介質薄膜，且器件能低壓穩(wěn)定操作，反相器增益和動態(tài)響應良好。相關的研究結果對低能耗柔性器件的發(fā)展具有重要的意義。
?????????該研究工作得到了國家自然科學基金【11774001；51572002；11474284】、安徽省自然科學基金【1608085MA06】及物科院開放基金【S01003101】等專項資金的經費支持。
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