何剛教授課題組在柔性顯示器件領(lǐng)域取得重要進(jìn)展
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近日，我院何剛教授課題組在柔性顯示器件領(lǐng)域取得重要進(jìn)展。該組一篇研究文章“Nontoxic, Eco‐friendly Fully Water‐Induced Ternary Zr–Gd–O Dielectric for High‐Performance Transistors and ?Unipolar Inverters”在電子器件權(quán)威刊物《Advanced Electronic Materials》上在線發(fā)表。 論文鏈接： https://doi.org/10.1002/aelm.201800100；?? 這是繼2018年該課題組在Advanced Electronic Materials發(fā)表論文后又一進(jìn)展 https://doi.org/10.1002/aelm.201700543?。 ?
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該論文創(chuàng)性地報(bào)道了利用全水溶液合成的方法制備了ZrGdOx和In2O3及其在薄膜晶體管和反相器上的成功應(yīng)用。多年來，超薄高k柵介質(zhì)薄膜和薄膜晶體管一直是柔性顯示器件領(lǐng)域的研究重點(diǎn)，同時(shí)也是低功耗顯示器、CMOS集成電路必不可少的組成部分。該課題組利用價(jià)格低廉的基于全水溶液的溶膠技術(shù)低溫制備了性能優(yōu)異的ZrGdOx高k柵介質(zhì)薄膜。器件測試結(jié)果表明TFT器件可以在5 V低壓下穩(wěn)定操作，在2V低壓操作下反相器增益高達(dá)7.4，對低能耗柔性器件的發(fā)展具有重要的意義。 該研究工作同時(shí)得到了三項(xiàng)國家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目的支持(11774001；51572002；11474284)和安徽省自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目(1608085MA06)專項(xiàng)資金的經(jīng)費(fèi)支持。 |
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