我?；瘜W(xué)系鄧勇輝教授領(lǐng)銜的國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目啟動(dòng)會順利舉行
3月20日，由復(fù)旦大學(xué)鄧勇輝教授主持的國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專項(xiàng)《硅基氣體敏感薄膜兼容制造及產(chǎn)業(yè)化平臺關(guān)鍵技術(shù)研究》項(xiàng)目啟動(dòng)會在河南省鄭州市順利召開。
據(jù)悉，《硅基氣體敏感薄膜兼容制造及產(chǎn)業(yè)化平臺關(guān)鍵技術(shù)研究》項(xiàng)目旨在系統(tǒng)開發(fā)具有高選擇性、高穩(wěn)定性、高一致性、低功耗等特點(diǎn)的氫氣、硫化氫、甲醛等MEMS氣體傳感器產(chǎn)業(yè)化平臺。通過該項(xiàng)目的實(shí)施，研究團(tuán)隊(duì)將掌握硅基MEMS氣體傳感器的晶圓級設(shè)計(jì)、制造和封測等關(guān)鍵技術(shù)。項(xiàng)目由河南省日立信股份有限公司牽頭，復(fù)旦大學(xué)為項(xiàng)目首席單位。該項(xiàng)目將由日立信股份有限公司、復(fù)旦大學(xué)、中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所、上海大學(xué)、南方科技大學(xué)和中國科學(xué)院電工研究所共同完成。河南省市領(lǐng)導(dǎo)、項(xiàng)目指導(dǎo)專家、項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、各課題負(fù)責(zé)人及課題骨干等30余人出席啟動(dòng)會，項(xiàng)目啟動(dòng)會邀請了北京大學(xué)高成臣教授、中國科學(xué)院微電子研究所焦斌斌研究員、中國科學(xué)院電工研究所韓立副所長、中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所李昕欣研究員、鄭州大學(xué)物理學(xué)院院長單崇新、中國電信北京研究院林率琦高級會計(jì)師、大唐中南電力試驗(yàn)研究院院長潘定立、華能河南分公司廖毛雄高級工程師等八位專家作為專家組成員出席啟動(dòng)會，對項(xiàng)目實(shí)施方案進(jìn)行論證指導(dǎo)。會上，項(xiàng)目首席負(fù)責(zé)人鄧勇輝教授對項(xiàng)目的技術(shù)路線和實(shí)施方案做了重點(diǎn)介紹，并對項(xiàng)目組織管理制度、里程碑計(jì)劃與預(yù)算安排等進(jìn)行了詳細(xì)匯報(bào)。
各課題承擔(dān)單位復(fù)旦大學(xué)、上海大學(xué)、中科院微系統(tǒng)所、南方科技大學(xué)、河南省日立信股份有限公司等課題負(fù)責(zé)人圍繞《氣體材料設(shè)計(jì)、集成與敏感效應(yīng)》、《晶圓級氣敏薄膜制備與熱學(xué)特性測試》、《低功耗MEMS傳感器陣列制造技術(shù)》、《晶圓級封裝與測試技術(shù)》、《氣體傳感產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)與應(yīng)用驗(yàn)證》五個(gè)方面分別從課題研究目標(biāo)、研究方法、技術(shù)路線及里程碑計(jì)劃、資金管理等方面做了詳細(xì)匯報(bào)。與會專家聽取項(xiàng)目匯報(bào)后，針對項(xiàng)目實(shí)施過程中可能出現(xiàn)的問題提出了建設(shè)性的意見和建議。該項(xiàng)目的實(shí)施，將解決傳統(tǒng)氣體傳感器制造與應(yīng)用中普遍存在的選擇性、穩(wěn)定性、一致性等技術(shù)難題，填補(bǔ)國內(nèi)硅基氣體敏感薄膜兼容制造與規(guī)模制造平臺建設(shè)的技術(shù)空白，對國內(nèi)MEMS智能化氣體傳感器企業(yè)的批量制造提供平臺保障，實(shí)現(xiàn)在新能源汽車、核電、特高壓電氣設(shè)備及智能家居等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，為我國智能化傳感器的國產(chǎn)化進(jìn)程提供強(qiáng)有力的技術(shù)支撐。
該項(xiàng)目是我校理科院系研究人員首次牽頭的國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃制造類專項(xiàng)項(xiàng)目，充分肯定了我校在理、工結(jié)合研究方面取得的成就和影響力。近年來鄧勇輝教授團(tuán)隊(duì)圍繞新型介孔半導(dǎo)體氣敏材料的設(shè)計(jì)合成及氣體響應(yīng)機(jī)制在氣體傳感器領(lǐng)域取得了一系列的研究進(jìn)展，提出了介孔半導(dǎo)體氣敏材料孔壁微環(huán)境納米工程的新思想，充分發(fā)揮介孔材料獨(dú)特的納米孔效應(yīng)、巨大的比表面、良好的傳質(zhì)性能，發(fā)展了多種用于高效合成介孔半導(dǎo)體材料的新方法，創(chuàng)制了分別對丙酮（糖尿病人呼出氣標(biāo)志物）、3-羥基-2-丁酮（食源性李斯特菌揮發(fā)性代謝物）、NO2、CO、H2S、H2、乙醇等氣體具有特異響應(yīng)性能的多種介孔半導(dǎo)體氣敏材料，包括WO3、SnO2、In2O3、ZnO等。研究團(tuán)隊(duì)借助各種原位表征手段深入揭示了介孔半導(dǎo)體材料對特定氣體的表面吸附、催化響應(yīng)機(jī)理，并開發(fā)了多款基于不同介孔半導(dǎo)體材料的氣體傳感器原型機(jī)，申請了一系列中國發(fā)明專利、PCT國際專利。研究團(tuán)隊(duì)在Nat. Mater.、J. Am. Chem. Soc.、Angew. Chem. Int Ed.、Adv. Mater.等刊物發(fā)表大量學(xué)術(shù)論文，應(yīng)邀在Acc. Chem. Res、Chem. Soc. Rev.等頂級刊物發(fā)表多篇?dú)怏w傳感器綜述論文，出版氣體傳感器相關(guān)英文學(xué)術(shù)專著1部。
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